一般的真空泵所能达到的真空度范围较广,具体取决于真空泵的类型和设计。以下是一些常见类型真空泵的大致真空度范围:
1. 旋片真空泵:这种泵通常可以达到的真空度在1毫巴(mbar)到10毫巴之间,即10-3 Pa到10-1 Pa。
2. 干式涡轮分子泵:这种泵可以达到的真空度更高,通常在10-4 Pa到10-2 Pa之间。
3. 液态环真空泵:这种泵可以达到的真空度在10-5 Pa到10-3 Pa之间。
4. 分子泵:这种泵可以达到的真空度非常高,通常在10-6 Pa到10-8 Pa之间。
5. 扩散泵:这种泵可以达到的真空度在10-5 Pa到10-7 Pa之间。
这些数值只是大致的范围,实际真空度会根据具体的应用和操作条件有所不同。真空系统的最终真空度还受到系统泄漏率、泵的抽速和泵的运行时间等因素的影响。
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