半导体制程工艺中的SAT（Shallow Trench Antenna）是一种浅沟槽天线。它是一种用于集成电路中的天线设计，主要用于无线通信应用，如Wi-Fi、蓝牙和GPS等。
SAT设备通常是指用于制造这种浅沟槽天线的半导体制造设备。这类设备通常包括以下几种：
.png)
1. 光刻机：用于将天线的图案转移到硅片上。
2. 蚀刻机：用于蚀刻硅片，形成浅沟槽。
3. 沉积设备：用于在蚀刻后的沟槽中沉积导电材料，形成天线。
4. 化学气相沉积（CVD）设备：用于在硅片表面沉积绝缘层，保护天线。
5. 离子注入机：用于在硅片中注入掺杂剂，以调整其电学特性。
这些设备共同工作，通过一系列的半导体制造工艺步骤，最终在硅片上制造出SAT天线。
发表回复
评论列表（0条）